Vojaĝa Gamo
20mm
Rezolucio
0.125μm
Ripeteblo
＜1μm
Rekteco
＜2μm
Paralelismo
＜5μm
ĵetado
10″（50μrad）
Yaving
Maksimuma Rapido
5 mm/sec
Ŝarĝo Kapacito
10 kg
Pezo
1,5 kg
